水基凝聚核粒子计数器 |苏州宏瑞净化科技有限公司
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水基凝聚核粒子计数器

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  • 产品名称:水基凝聚核粒子计数器
  • 产品型号:CPC4322/4323
  • 产品展商:HCT
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

HCT 水基凝聚核粒子计数器 (CPC)4322和4323可以满足在硬盘和TFT-LCD的生产过程中及半导体产品的处理过程中对纳米级悬浮粒子浓度进行快速的检测和报警的需要。

产品描述

水基凝聚核粒子计数器简介:

在硬盘和TFT-LCD的生产过程中以及半导体产品的处理过程中对悬浮粒子的实时监控是非常重要的。这款水基凝聚核粒子计数器(WCPC)的设计可以满足高级别洁净室的检测需要。它的最小采样粒径可以达到 10 nm, 而且采样流量高达2.83 L/min,可以快速采样或者按照指定流量进行采样。可显示粒子浓度、总粒子数或者浓度变化图表。

优点:

快速响应 

高采样流速 

水基

兼容 SMPS 系统

最小检测粒径达到 7 nm

高级别洁净室监测

可远程控制

参数:

计数效率:50 % @ 7 nm  NaCl 粒子

          100 % @ 10nm  NaCl 粒子

采样流量:

    - 1.0 L/min for 4322

    - 2.83 L/min (0.1 cfm) for 4323

工作用液体: 去离子水 (推荐使用)

• 较大检测浓度:

    - 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322

    - 285.7 X 105 particles / ft3  for 4323

精度:

    - ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322

    - ±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323

• 12小时背景误计数

    - 0.001 particles/cm3 for 4322

    - 0.0005 particles/cm3 for 4323

响应时间(在测试浓度发生变化的情况下):

    - < 5 seconds for 95 % for 4322

    - < 2 seconds for 95 % for 4323

 数据通讯:以太网LAN接口, USB 接口或 RS232

 操作系统:内置Windows XP

 数据储存:FDM (Flash Disk Module) 2GB

较大可扩展到 60GB

气源:内置无刷直流气泵

外形尺寸 (L×H×W) :320 × 315 × 260 mm

重量:13.4 kg

电源:100~240 VAC, 50~65 Hz

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