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电子集成电路厂洁净室的污染源


现今不少电子高新科技领域对集成电路的需求十分大,同时对大规模集成电路的设计生产、封装环节要求越来越高。意味着对电子洁净室的要求越来越高。那么,在日常工作中,容易对电子集成电路厂洁净室造成污染的源头有哪些呢?

一、电子集成电路厂洁净室污染--电磁噪声
电子集成电路洁净室是通过大电流氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关,高频振荡等产生电磁噪声电磁噪声会影响电子束扫描设备的扫描精度其影响程度与发生源的距离成反比。

二、电子集成电路厂洁净室污染--振动
洁净室设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上,进而影响它们的工作精度。洁净室应在振源和怕受振动的设备下安装空气弹簧减震器,以达到衰减振动的目的。

三、电子集成电路厂洁净室污染--生锈
当洁净室酸用通风罩局部排风量不足时,酸雾气扩散于洁净室内,腐蚀室内设备的金属部分,造成污染;洁净室不锈钢裸露在含氯气的空气中,也会受腐蚀生锈。处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩,保证足够的局部排风量。

电子集成电路厂洁净室污染上述几点还包括洁净室器材和设备的搬出和大修施工时造成污染。这些污染不只是由于人的移动造成的,设备移动也会扬起已落在地板表面和器材上的尘埃。尤其是更换设备时养护地板,搬进小工具或很多搬运工进出洁净室,都会导致室内的悬浮尘埃量比平时多。

  对于电子集成电路厂洁净室的污染源你们还有什么看法呢?

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