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洁净室的静压差检测

洁净室静压差检

洁净室静压差可以是正压负压洁净室静压差检目的在于防止室内外气流的相互影响,进而造成洁净室的污染。

进行洁净室静压差检测时,应注意以下几点:

ü 洁净室静压差检应在洁净区域内的门都已关闭的情况下进行

ü 洁净室静压差检从洁净度高到依次进行检测,一直到直通室外的房间

ü 静压测管口设在室内没有气流影响的地方即可,保持测管口面与气流流线

ü 洁净室静压差检的数据应准确到1.0Pa

ü 洁净室静压差检仪器可采用宏瑞科技的数字差压计DP-40测量范围从0-±125pa0-±500pa0-5000pa…多种量程可选

   测量后将所有数据保存完整

洁净室静压差检应符合以下标准:

ü 级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差不小于5Pa

ü 洁净室与室外的静压差,不应小于10Pa

ü 打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时,门内0.6米的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值


对于达不到以上标准的,应重新调整洁净室新风量、排风量,直到合格为止

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